光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,其成本約占整個芯片制造工藝的30%,耗費時間約占整個芯片制造工藝的40%-60%,是半導體制造中最核心的工藝。
目前國內(nèi)光刻膠自給率僅10%,主要集中于技術含量相對較低的PCB領域。6英寸硅片的g/i線光刻膠的自給率約為20%,8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%,12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。
2016-2019年,全球半導體光刻膠的市場規(guī)模從15億美元增長至2019年的18億美元,年復合增速達6.3%,預計2021年全球光刻膠市場規(guī)模將達到20.2億美元。
目前,全球光刻膠生產(chǎn)制造主要被日本JSR、東京應化、信越化學、住友化學等制造商所壟斷,尤其在高分辨率的KrF和ArF光刻膠領域,其核心技術基本由美國和日本制造商所掌握。中國本土企業(yè)在光刻膠市場的份額較低,與國外光刻膠制造商仍存在差距。
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